İnce Filmler; kaplanacak malzemenin atomlarının ya da moleküllerinin, yüzey üzerinde filmin oluşumuna yardımcı olan bir taban üzerine dizilmesi ile ince bir tabaka halinde oluşturulan ve kalınlıkları genel olarak 1 mikronun altında olan kaplama malzemeleridir. İnce film üretim tekniklerini; buhar fazda biriktirme, sıvı fazda biriktirme ve katı fazda biriktirme olmak üzere 3 ana sınıfa ayırabiliriz. İnce filmler, bu 3 sınıfın altında yer alan fiziksel buhar biriktirme, sol-jel, devitrifikasyon ve elektrokimyasal gibi birçok farklı yöntem ile üretilebilmektedir.

İnce filmleri uygulamakta kullanılan yöntemlere ise daldırma, elektroforez, püskürtme (spreyleme) işlemlerini örnek olarak verebiliriz.  Yaygın olarak kullanılanlardan daldırma ve püskürtme yöntemlerini ele alırsak:

Daldırma yöntemi: ince film tabakasıyla kaplanacak yüzey (cam, metal, tekstil veya ahşap) kaplama çözeltisi içerisine daldırılıp kontrollü hızlarda geri çekilir. Yüzey üzerinde ıslak film tabakası oluşur. Çözücünün buharlaşması sonucu ince film yüzeyde birikmiş olur.

Püskürtme yöntemi: Elde edilecek filmler için hazırlanan homojen likit çözeltilerin yüzey üzerine hava ya da azot gazı yardımı ile atomize edilerek püskürtülmesi yöntemidir. İnce film elde etme metotları arasında en kolay ve en ucuz olan metottur. Üretim işleminde müdahale için elverişli yapıdadır ve vakum ortamına ihtiyaç duyulmaz.

Film kalitesini etkileyen başlıca parametreler:

• Alt taban sıcaklığı,
• Ortam koşulları,
• Püskürtme oranı,
• Filmin uygulama kalınlığı,
• Püskürtme başlığının çapı,
• Püskürtme başlığının alt tabandan uzaklığı.